T. D. Nguyen, T. L. A. Luu, T. H. L. Le, H. T. Nguyen, and N. T. Nguyen, “Studing the Effect of Etching Process on the Ohmic Specific Contact Resistance of AlGaN/GaN HEMT”, ETSD, vol. 31, no. 2, pp. 95–100, Apr. 2021.